中科科儀系列磁懸浮分子泵通過中通協(xié)首臺（套）鑒定

2021年5月19日，中國通用機械工業(yè)協(xié)會在北京組織召開了由北京中科科儀股份有限公司研制的系列磁懸浮分子泵產(chǎn)品鑒定會。鑒定會由中通協(xié)名譽會長隋永濱主持。

鑒定委員會由真空技術(shù)****專家東北大學教授巴德純?nèi)沃魅危袊教炜萍技瘓F有限公司、中國電子科技集團公司、中國科學院大學、中國科學院物理研究所及微電子研究所等單位專家共同組成。

鑒定委員會專家組實地考察了磁懸浮分子泵實驗室，見證樣機關(guān)鍵指標，詳細了解產(chǎn)品研發(fā)過程和生產(chǎn)質(zhì)量保證體系。在鑒定會上，認真聽取了中科科儀系列磁懸浮分子泵項目研制工作總結(jié)報告，對樣機檢測報告和技術(shù)鑒定資料進行了嚴格審查。鑒定委員會專家充分肯定了中科科儀的技術(shù)研發(fā)、制造工藝以及檢測能力，中科科儀在科技部02專項“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”——《磁懸浮分子泵系列產(chǎn)品開發(fā)與產(chǎn)業(yè)化》重大專項研制成果基礎(chǔ)上，成功研制新一代智能化、一體化的磁懸浮分子泵。經(jīng)過質(zhì)詢和討論，鑒定委員會最終鑒定意見為：中科科儀研制的磁懸浮分子泵系列產(chǎn)品為國內(nèi)首臺（套），具有自主知識產(chǎn)權(quán)，主要性能指標達到國際先進水平，取得了顯著的經(jīng)濟及社會效益，建議進一步推廣應(yīng)用。

作為中國真空技術(shù)領(lǐng)軍者，中科科儀始終以“創(chuàng)新科學儀器，發(fā)展****企業(yè)”為使命，以****電子光學和真空技術(shù)，打造****科學儀器設(shè)備及高端裝備制造國家隊，在“十四五”規(guī)劃的新征程，立足新發(fā)展階段、堅持新發(fā)展理念、構(gòu)建新發(fā)展格局，為強化國家戰(zhàn)略科技力量、實現(xiàn)科技自立自強做出新的貢獻。

來源：KYKY中科科儀

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